随着智能工厂的诞生,为了节省人力成本及搬运时间,自动化搬运系统产品种类日趋增加,OHT (空中走行式搬送车) 能够更有效利用空间,增加搬运路径之弹性,成为晶圆制造工厂应用最广泛的搬运工具。竞争激烈的半导体产业,除了先进制程技术日新月异,智能化工厂也要与时俱进的优化现有产线作业,提升生产效率。藉由Qisda集团长期在半导体产业累积的应用实证,与DFI面面俱到的产品规格,协助日本知名的半导体设备制造商,成为最适合OHT的控制大脑。
区域:日本
产业:半导体
应用:空中走行式搬送车
解决方案:EC700-AL
OHT (空中走行式搬送车) 是Overhead Hoist Transfer的简称,一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运系统,由升降装置马达驱动皮带,自动抓取设置在晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 的前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运,且不占用洁净室地面空间,被广泛的使用在12吋半导体前段晶圆厂内之物料搬送,如制造过程中的在制品 (WIP, Work In Process),不仅用于产线的机台 (Tool),还用于机台和晶圆缓存器 (Buffer) 之间的传输作业。
OHT能有效地利用厂房立体空间,在不占用人员走道的前提下,将无尘室内的空间使用率最大化。此外,透过模拟针对搬运时间进行预测与分析,可以有效缩短搬运等待时间,迅速移动并且避免台车间的调度问题,实现路径优化,OHT在无尘室内的物流搬送,更能达到符合客户稼动率的生产需求。
Qisda集团在机器人领域耕耘多年,从原先中国厂区自用,后来导入台湾厂区,并向外拓展市场,应用及客户早已涵盖半导体产业。DFI除搭着Qisda的AGV出货给晶圆代工大厂,也顺势进入OHT市场,供应板卡、准系统给OHT系统厂以及国内封测厂等,全面掌握智慧工厂的自动搬运商机。