Mit der Entstehung intelligenter Fabriken nehmen automatisierte Handhabungssysteme zu, um Arbeitskosten und Handhabungszeiten zu reduzieren. Der OHT (Overhead Hoist Transfer) ist weithin als primäres Transportsystem für Fertigungsanlagen der nächsten Generation anerkannt. In der Halbleiterindustrie, die sich seit langem in einem harten Wettbewerb befindet und in der sich die fortschrittliche Prozesstechnologie schnell verändert, müssen auch intelligente Fabriken mit der Zeit Schritt halten, um bestehende Produktionslinien zu optimieren und die Produktionseffizienz zu verbessern. Basierend auf der langjährigen Erfahrung der Qisda-Gruppe in der Halbleiterindustrie und den umfassenden Produktspezifikationen von DFI unterstützen sie einen bekannten japanischen Hersteller von Halbleiteranlagen dabei, das am besten geeignete Steuergehirn für OHT zu entwickeln.
Region: Japan
Industrie: Halbleiter
Anwendung: Overhead Hoist Transfer (OHT)
Lösung: EC700-AL
Der OHT ist ein automatisiertes Transportsystem, das auf der Hängebahn fährt und durch den riemengetriebenen Hebemechanismus "direkt" auf die Ladeöffnung des Stockers und der Verarbeitungsanlage zugreift. Der OHT kann Front Opening Unified Pods (FOUP) von Load-Port-Units (LPU) aufnehmen, um einen hocheffizienten Prozessablauf und ein effizientes Bestandsmanagement zu gewährleisten und ein schnelles und stabiles Wafer-Handling in jedem Prozessabschnitt zu ermöglichen, ohne dass die Bodenfläche des Reinraums beansprucht wird. Der OHT wird in großem Umfang für den Transport von 12-Zoll-Wafern in den Fertigungsanlagen eingesetzt, einschließlich des direkten Transports von Werkzeug zu Werkzeug, von Werkzeug zu Puffer und von Puffer zu Werkzeug von WIP-Trägern (Work in Process). Der OHT kann nicht nur für den Transport innerhalb der Halle verwendet werden, sondern auch für den Transport zwischen den Hallen und sogar zwischen den Gebäuden.
Der OHT kann den dreidimensionalen Raum des Fabrikgebäudes effektiv nutzen und die Raumnutzungsrate des Reinraums maximieren, ohne dabei den Personalgang zu blockieren. Darüber hinaus kann die Vorhersage und Analyse der Handhabungszeit durch Simulation die Wartezeit für die Handhabung effektiv verkürzen, sich schnell bewegen, Planungsprobleme vermeiden und eine Wegoptimierung realisieren, so dass der Transport des OHT im Reinraum besser mit den Produktionsanforderungen übereinstimmt.
Die Qisda Group arbeitet seit vielen Jahren auf dem Gebiet der Robotik. Der anfängliche Einsatz in der chinesischen Fabrik zur Eigennutzung wurde später in die taiwanische Fabrik importiert und schließlich für die Nutzung in der Außenwelt ausgeweitet. Die Anwendungen und Kunden sind bereits in der Halbleiterindustrie zu finden. Neben der Lieferung von Qisdas AGVs an große Gießereien ist DFI auch in den OHT-Markt eingestiegen und liefert Platinen und Barebones an OHT-Systemintegratoren und Chip-Packaging- und Testanlagen in Taiwan, um die Geschäftsmöglichkeiten intelligenter Fabriken zu nutzen.