隨著智能工廠的誕生,為了節省人力成本及搬運時間,自動化搬運系統產品種類日趨增加,OHT (空中走行式搬送車) 能夠更有效利用空間,增加搬運路徑之彈性,成為晶圓製造工廠應用最廣泛的搬運工具。競爭激烈的半導體產業,除了先進製程技術日新月異,智能化工廠也要與時俱進的優化現有產線作業,提升生產效率。藉由Qisda集團長期在半導體產業累積的應用實證,與DFI面面俱到的產品規格,協助日本知名的半導體設備製造商,成為OHT的控制大腦。
區域:日本
產業:半導體
應用:空中走行式搬送車
解決方案:EC700-AL
OHT (空中走行式搬送車) 是Overhead Hoist Transfer的簡稱,一種能在空中軌道上行駛之自動化搬運系統,由升降裝置馬達驅動皮帶,自動抓取設置在晶圓載入機 (LPU, Load-Port Unit) 的前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),實現了晶圓在各加工區間快速穩定的搬運,且不佔用潔淨室地面空間,被廣泛的使用在12吋半導體前段晶圓廠內之物料搬送,如製造過程中的在製品 (WIP, Work In Process),不僅用於產線的機台 (Tool),還用於機台和晶圓暫存器 (Buffer) 之間的傳輸作業。
OHT能有效地利用廠房立體空間,在不占用人員走道的前提下,將無塵室內的空間使用率最大化。此外,透過模擬針對搬運時間進行預測與分析,可以有效縮短搬運等待時間,迅速移動並且避免台車間的調度問題,實現路徑優化,OHT在無塵室內的物流搬送,更能達到符合客戶稼動率的生產需求。
Qisda集團在機器人領域耕耘多年,從原先中國廠區自用,後來導入台灣廠區,並向外拓展市場,應用及客戶早已涵蓋半導體產業。DFI除搭著Qisda的AGV出貨給晶圓代工大廠,也順勢進入OHT市場,供應板卡、準系統給OHT系統廠以及國內封測廠等,全面掌握智慧工廠的自動搬運商機。